В 1993 году было создано частное семейное предприятие ЧСП «Рефлекс», которое разработало и стало производить сканирующие лазерные анализаторы субмикронных частиц на кремниевых подложках «Рефлекс 4000», с чувствительностью по частицам 200 нм.

В 1998 году (в связи с изменением законодательства) фирма была перерегистрирована как Общество с ограниченной ответственностью ООО «РЕФЛЕКС ЛАЙТ». В 1998 году был разработан сканирующий лазерный анализатор для 300 мм кремниевых пластин «Рефлекс 300» с чувствительностью по частицам 150 нм, на него получен патент России, США и ЕС и заключено лицензионное соглашение с фирмами ASMI и Nanophotonics.

В 2004 году был разработан сканирующий лазерный анализатор для 200 мм кремниевых пластин «Рефлекс 532» с чувствительностью по частицам 125 нм.

В 2008 году был разработан сканирующий лазерный анализатор для 200 мм кремниевых пластин «Рефлекс 405» с чувствительностью по частицам 117 нм.

В 2020 году разработан сканирующий лазерный анализатор для пластин диаметром от 30 мм до 300 мм «Нанорефлекс CLSM» с чувствительностью по частицам 80 нм, включая возможность контроля сапфировых подложек с чувствительностью по частицам 500 нм.