Анализаторы частиц позволяют определять количество, положение и размеры частиц, царапин, матовости поверхности (HAZE)  и иных светорассеивающих дефектов на поверхности полупроводниковых пластин, структур кремний-на-сапфире (КНС) и пластин сапфира.

Сканирование осуществляется по спирали за счет перемещения оптической головки по дуге окружности относительно вращающейся пластины.

Анализаторы частиц подключаются к внешнему компьютеру через USB порт без помощи дополнительной аппаратуры. Программное обеспечение приборов работает c операционной системой Windows 10.

Технические параметры лазерных анализаторов частиц:

Приборы «Рефлекс 300», «Рефлекс 375», «Рефлекс 532» и «Рефлекс 405» сняты с производства. В настоящее время производится прибор «Нанорефлекс CLSM».

«Нанорефлекс CLSM»:

Предназначен для контроля полированных пластин полупроводниковых материалов (кремния, германия, арсенида галлия), а также полированных пластин сапфира.

1. Минимальный диаметр контролируемых частиц на кремнии, германии, GaAs – 80 нм, на сапфире – 300 нм.
2. Диаметр контролируемых пластин – от 50 до 300 мм.
3. Время контроля пластины диаметром 100 мм – 3 мин.
4. Длина волны лазера  λ = 405 нм.
5. Толщина пластин – от 140 мкм до 1000 мкм.
6. Воспроизводимость измерения числа частиц  - 5 %.
7. Получаемая информация:

    - карта частиц и дефектов поверхности, с цветовой кодировкой;
    - гистограмма частиц;
    - средняя величина интенсивности рассеянного света (HAZE) на пластине
    - карта интенсивности рассеянного света (HAZE) с цветовой кодировкой
    - вывод результатов измерений на печать и автоматическое сохранение в базе данных.

8. Питание 220 В (200 - 240 В), 50 - 60 Гц, 100 Вт макс.
9. Вакуум - 70 кПа, поток-2м3/ч.
10. Гарантийные обязательства – 1 год.
11. Загрузка и выгрузка пластин – в ручном режиме.